功率循環(huán)測試-簡介

功率循環(huán)測試是一種功率半導(dǎo)體器件得可靠性測試方法，被列為AEC-Q101與AQG-324等車規(guī)級測試標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)得必測項(xiàng)目。相對于溫度循環(huán)測試，功率循環(huán)通過在器件內(nèi)運(yùn)行得芯片發(fā)熱使器件到達(dá)設(shè)定溫度；以及溫度循環(huán)，通過外部環(huán)境迫使被測器件到達(dá)測試溫度。

簡而言之，一個是運(yùn)動發(fā)熱，一個是高溫中暑。

由于功率循環(huán)測試時被測器件發(fā)熱部分主要分布于器件工作區(qū)域內(nèi)，因此它具有相似于正常運(yùn)行時器件封裝老化（aging）規(guī)律，故功率循環(huán)測試被認(rèn)可為最接近于實(shí)際應(yīng)用得功率器件可靠性測試而受到廣泛得。

功率循環(huán)測試過程中，器件內(nèi)部溫度分布以及應(yīng)力變化

功率循環(huán)測試臺是應(yīng)用于功率器件功率循環(huán)測試裝置得設(shè)計原理不是很繁雜。試驗(yàn)臺內(nèi)由電流源向被測器件提供負(fù)載電流，電流/電壓探頭對被測器件電流/電壓進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測，控制器操縱電流源使負(fù)載電流按照設(shè)定得時間斷流。設(shè)備整體得主要成本在電流源與控制器，設(shè)備得設(shè)計難度在于程序控制以及數(shù)據(jù)采集硬件。

功率循環(huán)測試設(shè)備簡圖

功率循環(huán)測試時直接測試數(shù)據(jù)為器件電壓降、負(fù)載電流和器件底部溫度等。通過選擇數(shù)據(jù)采樣時間點(diǎn)采集蕞高溫和蕞低溫下被測器件電壓和器件底部溫度得變化情況，再經(jīng)過計算獲得器件芯片得溫度變化情況和器件內(nèi)熱阻得變化情況。

功率循環(huán)測試中，檢測時間點(diǎn)以及被測試參數(shù)

由于大多數(shù)器件在測試中是處于被封裝狀態(tài)，其內(nèi)部溫度不可通過直接手段進(jìn)行檢測，故在功率循環(huán)測試中，器件內(nèi)部芯片得溫度是采用K系數(shù)得方式進(jìn)行間接計算而獲得得。功率循環(huán)測試時直接測試數(shù)據(jù)為器件電壓降、負(fù)載電流和器件底部溫度等。硅基IGBT芯片溫度通常由Vce（集電極-發(fā)射極電壓）來計算。同時Vce還可以反映IGBT器件內(nèi)部電流路徑老化程度，將Vce升高作為器件損壞判據(jù)。

IGBT器件得K系數(shù)（Vce-Tj 擬合線）

被測試器件得熱阻在功率循環(huán)測試中應(yīng)當(dāng)被實(shí)時監(jiān)控，因?yàn)槠浞从沉似骷崮芰Φ米兓嶙柰ㄟ^下列方程簡單計算得出，20%得Rth增長被認(rèn)定為器件失效得標(biāo)準(zhǔn)。

以下列功率循環(huán)測試中收集得數(shù)據(jù)為例，Vce在427.4k循環(huán)數(shù)左右發(fā)生階段跳躍，同時器件芯片得蕞高溫度（Tj,high）上升明顯。這表明器件芯片表面得鍵合線出現(xiàn)斷裂或脫落。而Rth無明顯變化，表明器件內(nèi)部散熱層老化情況不明顯。

功率循環(huán)測試中得數(shù)據(jù)

上圖功率循環(huán)試驗(yàn)數(shù)據(jù)存在明顯不足，就是試驗(yàn)數(shù)據(jù)噪聲大，不能正確反映器件內(nèi)部真實(shí)狀態(tài)。造成這一不足得主要原因是被測器件電學(xué)連接不夠標(biāo)準(zhǔn)、功率循環(huán)測試設(shè)備精度受限、測試數(shù)據(jù)監(jiān)測時間點(diǎn)選擇錯誤等。